上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
設定パラメータ、稼働データをポンプ本体に蓄積可能!
大阪真空機器製作所が取扱う『TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M』は、従来の磁気軸受形ターボ分子ポンプと比較して、磁気浮上モータの改良により、低消費電力を実現可能にしました。
また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
【特長】
■省電力設計
■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能
■多様な通信仕様:Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
■国際規格適合:NRTL/SEMI-S2/CE
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
また、稼働データ、タッチダウン回数等をポンプ本体に記憶するメモリー機能を搭載し、オーバーホール時等にコントローラを入れ替えても、データの引継ぎが可能になっています。
【特長】
■省電力設計
■稼働データ、タッチダウン回数、機種情報などを本体に保持可能
■多様な通信仕様:Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
■国際規格適合:NRTL/SEMI-S2/CE
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M~1307M』
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【その他の特長】
■多様な通信仕様:Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT
■国際規格適合:NRTL/SEMI-S2/CE
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ~ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219(前工程ゾーン ;南2ホール)
『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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株式会社大阪真空機器製作所