上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
特長
１） 省電力設計
２） 油逆流が無いクリーン排気が可能
３） メンテナンスフリー・オイルフリー
４） 内臓バイパス機構により、大気側の排気速度域をカバー
５） 冷却水不要
６） 国際規格適合（CE/NRTL/SEMI）
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
関連情報
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ～ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219（前工程ゾーン ；南2ホール）
コンパクトドライ真空ポンプ DSP250/DSP500
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●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
空冷式ドライ真空ポンプ FR060D
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※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
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【特徴】
○省エネルギー、小型・軽量化を実現
○省エネルギー対応
→到達圧力時消費電力：400W
○小型・軽量を実現
→設置面積：0.11m2（230×450mm）
○重量：60kg
○省ユーティリティ
→冷却水量・バージガス量の削減
○国際規格適合
○用途に応じた製品仕様
→ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
→ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応
●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介！
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今回は新型コロナウィルスの影響により、「VACUUM2020 真空展」はオンライン開催されます。事前登録は無料になっており、製品情報など様々な情報を閲覧することが出来ます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。
【VACUUM2020真空展 出展情報】
2020年10月14日(水)～11月13日(金) 入場料：無料（登録制）
URL：https://nikkan-fair.com/account/create
【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット
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【納入事例】
■主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプのため、排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能
■カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計やスローリーク弁等の
操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位のマニュアル操作を行うことが出来る
■グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、カートを
移動させながら定格運転を維持可能
■シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えている
■お客様のニーズに合わせた好適な真空環境をつくるためには、様々な真空システム
（排気ユニット・真空ポンプセット・真空装置）が必要となり、大阪真空はそれに応える
幅広いラインアップの真空製品を提供
■真空システムの設計、構成、製造において創業以来70年間に蓄積された技術力、経験と実績を有する
■高真空から低真空までの真空ポンプ、真空コンポーネントなどの単品販売だけでなく、
それらを真空システムに組み込んだ状態で提案可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
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【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社大阪真空機器製作所
