上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
https://osakavacuum.co.jp/products/#TGKR_Series
詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
関連情報
半導体向け真空ポンプ ※SEMICON Japan2019に出展
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【SEMICON Japan 2019 出展情報】
会 期 : 2019年12月11日 ~ 12月13日
会 場 : 東京ビッグサイト
ブースNo.: 8219(前工程ゾーン ;南2ホール)
『医療用加速器向け真空ポンプ・排気システム』のご紹介
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※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空環境作りに役立つ、豊富なラインアップをご紹介!
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今回は新型コロナウィルスの影響により、「VACUUM2020 真空展」はオンライン開催されます。事前登録は無料になっており、製品情報など様々な情報を閲覧することが出来ます。皆様のご参加を心よりお待ちしております。
【VACUUM2020真空展 出展情報】
2020年10月14日(水)~11月13日(金) 入場料:無料(登録制)
URL:https://nikkan-fair.com/account/create
【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様
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【MS-3C100L ソフトウェア機能】
■製膜ログ機能
・各処理工程における、真空度・冷温媒温度・ガス流量・スパッタ電力値・
基板ホルダー回転速度の自動保存が可能
■製膜レシピ機能
・各処理工程における、使用基板・使用ターゲット・真空度・冷温媒設定温度・ガス流量・
スパッタ電力値・基板ホルダー回転速度・製膜時間・シャッター開閉を設定可能
・作成済みレシピの組み合わせが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社大阪真空機器製作所