アンリツ株式会社

環境計測カンパニー

高機能・高性能化が進む電子部品などの新たな品質管理のあり方とは

最終更新日: 2020-08-18 15:23:54.0

カタログ発行日:2020/8/18
薄膜・微細領域も高精度かつ短時間で測定する蛍光X線膜厚測定器
電子機器や自動車などの最終製品の進化は、搭載される部品への高機能化・高品質化のニーズが高まっています。それに伴い、薄膜や多層構造を持つ部品においては、その品質を左右する膜厚・組成に関して品質管理の過程でも高精度、かつ効率的な測定が必要です。

本資料では、蛍光X線を用いた膜厚測定など、非破壊で高精度な測定・分析を実現する方法を紹介します。

関連情報

蛍光X線式 膜厚測定器  汎用測定器『 XDLM 237 』
蛍光X線式 膜厚測定器  汎用測定器『 XDLM 237 』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■電源:AC115VまたはAC230V 50/60Hz
■消費電力:最大120W(PCを除く)
■保護クラス:IP40
■寸法:幅570x奥760x高650mm
■測定室内の寸法:幅460x奧495x高146mm
■重量:120kg

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
蛍光X線式 膜厚測定器 微小部測定用『 XDV-μ 』
蛍光X線式 膜厚測定器 微小部測定用『 XDV-μ 』 製品画像
【仕様(抜粋)】
■測定元素範囲:Al(13)~U(92)
■X線検出器:シリコンドリフト検出器(SDD)
■X線管球:マイクロフォーカスチューブ
■プライマリフィルター:4種類
■本体寸法:660×835×720mm(幅×奥行×高さ)
■消費電力:最大120W

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
蛍光X線式 膜厚測定器  ハンドヘルド型『 XAN500 』
蛍光X線式 膜厚測定器  ハンドヘルド型『 XAN500 』 製品画像
【主な仕様】
■測定元素範囲:S(16)~U(92)
■X線検出器:シリコンドリフト検出器(SDD)
■X線管球:Wターゲット
■プライマリフィルター:1種類固定
■コリメーター数/サイズ:1種固定/Φ2mm
■測定器本体寸法:210 x75 x230mm(幅 x 奥行 x 高さ)
■メジャリングボックス寸法:380 x 220 x 385mm (幅 x 奥行 x 高さ)
■メジャリングボックス測定室内寸法:150 x 330mm
■バッテリー動作時間:約6時間

※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。

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