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【アクチュエータ】プリロードつきピエゾアクチュエータカタログ

最終更新日: 2014-07-03 14:31:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

精密位置決めに最適・長寿命セラミック層を備えるPICMA内蔵。サブナノメートルの分解能を実現!
・ サブナノメートルの分解能
・ 高剛性
・ 摩擦及び粘着はありません
・ 疲労、磨耗もありません
・ 超高真空、ベーキング可
・ 非磁性対応
・ 高速応答性(サブミリ秒)
・ 高圧力
・ バックラッシュもありません
・ ポジションフィードバックセンサーにより、ヒステリシス・クリーピングの問題を解消

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