最終更新日:
2023-06-21 13:05:23.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
静電容量センサーによる高リニアリティステージ
P-753 LISA（リニアステージアクチュエータ）高速ピエゾステージはリニアアクチュエータ、およびステージの両方としてご使用頂けます。
このP-753 LISAは静電容量フィードバックセンサー、摩擦の無いフレクシャガイドシステム、および高性能ピエゾ駆動を搭載しており、最大ストロークが38μm、整定時間が短く、直進性が非常に高いことが大きな特徴です。
【特長】
・同時にガイドされたアクチュエータとステージ
・移動範囲～38 μm
・分解能0.1 nm
・非磁性バージョンも可能
・直接駆動による速応答
・静電容量センサーによる高リニアリティ
※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお気軽にお問合せください。
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