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PIMag リニアステージ『V-408』

最終更新日: 2019-12-26 14:34:30.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

PIMag リニアステージ『V-408』
PIMag リニアステージ『V-408』 製品画像
【技術データ(抜粋)】
■駆動軸:X
■移動範囲(mm)
 ・V-408.132020:25
 ・V-408.232020:50
■内蔵センサー:インクリメンタルエンコーダー
■センサー信号周期:80μm
■最小インクリメンタルモーション:20nm
■双方向繰り返し性:±0.1μm
■ピッチング / ヨーイング:±150μrad

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