【主な技術データ】
[動作及び位置決め]
■駆動軸:X
■移動範囲[mm]:V522.x:5/V524.x:10/V528.x:20
■内蔵センサ:光学、インクリメンタル
■センサー調整[nm]:10
■最小インクリメンタルモーション[nm]:20
■一方向再現性[nm]:20
■基準点スイッチ再現性[μm]:<1
■ピッチング[μrad]:±50
■ヨーイング[μrad]:±50
■リニアリティ[μm]:0.5
■平面度[μm]:0.5
■速度[mm/s]:250
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
[動作及び位置決め]
■駆動軸:X
■移動範囲[mm]:V522.x:5/V524.x:10/V528.x:20
■内蔵センサ:光学、インクリメンタル
■センサー調整[nm]:10
■最小インクリメンタルモーション[nm]:20
■一方向再現性[nm]:20
■基準点スイッチ再現性[μm]:<1
■ピッチング[μrad]:±50
■ヨーイング[μrad]:±50
■リニアリティ[μm]:0.5
■平面度[μm]:0.5
■速度[mm/s]:250
※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。