【技術データ(抜粋)】
■回転レンジ:無制限
■内蔵センサ
・光学式エンコーダ
・ポジションダイレクト計測
・ステージでの統合されたインターポレータ
■設計分解能:35(2)μ rad(m°)
■双方向再現性:±105(6)μ rad(m°)
■動作温度範囲:-20~50℃
■材質:アルミニウム アナダイズド処理
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■回転レンジ:無制限
■内蔵センサ
・光学式エンコーダ
・ポジションダイレクト計測
・ステージでの統合されたインターポレータ
■設計分解能:35(2)μ rad(m°)
■双方向再現性:±105(6)μ rad(m°)
■動作温度範囲:-20~50℃
■材質:アルミニウム アナダイズド処理
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