【その他特長】
■ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー
■注油不要
■内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
■分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
■コンパクトな設計で断面高さ32mm、設置面積170×170mm
■センター開口部は78×78mm
■静止時に自動ロック
■PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■ボールねじ、ギア、その他機械部品なし、摩耗がなくメンテナンスフリー
■注油不要
■内蔵のクローズドループピエゾモーター駆動により、100mm/sの高速化を実現
■分解能0.1μmのリニアエンコーダを内蔵
■コンパクトな設計で断面高さ32mm、設置面積170×170mm
■センター開口部は78×78mm
■静止時に自動ロック
■PIピエゾナノポジショニング/スキャニングステージに適合
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。