【技術データ(抜粋)】
■駆動軸:X
■移動範囲(mm)
・V-408.132020:25
・V-408.232020:50
■内蔵センサー:インクリメンタルエンコーダー
■センサー信号周期:80μm
■最小インクリメンタルモーション:20nm
■双方向繰り返し性:±0.1μm
■ピッチング / ヨーイング:±150μrad
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■駆動軸:X
■移動範囲(mm)
・V-408.132020:25
・V-408.232020:50
■内蔵センサー:インクリメンタルエンコーダー
■センサー信号周期:80μm
■最小インクリメンタルモーション:20nm
■双方向繰り返し性:±0.1μm
■ピッチング / ヨーイング:±150μrad
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。