主な特徴
＊チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°)
＊パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性
＊ダイナミックモーションと高速ステップ＆セトリングの高い共振周波数
＊高リニアリティの位置センサー
＊最大12.7mm径（0.5"）のミラー用
ゼロ点フレクシャガイドによる高ガイド精度
フレクシャガイドは、摩擦、摩耗がなく、潤滑不要。剛性は高負荷容量を可能にします。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
＊チップ/チルト角5mrad、光偏向角10mrad(0.57°)
＊パラレル制御設計によるチップ/チルト両軸での高性能特性
＊ダイナミックモーションと高速ステップ＆セトリングの高い共振周波数
＊高リニアリティの位置センサー
＊最大12.7mm径（0.5"）のミラー用
ゼロ点フレクシャガイドによる高ガイド精度
フレクシャガイドは、摩擦、摩耗がなく、潤滑不要。剛性は高負荷容量を可能にします。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します。
平行運動による高ダイナミック多軸動作
平行運動学的多軸システムでは、すべてのアクチュエータが共通のプラットフォーム上で動作します。すべての軸の最小質量慣性および同一設計により、高速、動的、およびそれにもかかわらず精密運動が可能です。
自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る度このデータを使用します。
