ピーアイ・ジャパン株式会社

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ボイスコイル駆動フォーカスステージ V308

最終更新日: 2023-06-12 08:40:09.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日:20210417
7mmレンジ、1Kg耐荷重のボイスコイル駆動Z軸フォーカスステージ
PI社は、新しくボイスコイル駆動の対物レンズ駆動フォーカスステージをリリースしました。

最大加速度:8m/s²
最大速度: 200 mm/s
ステップ&静定時間 : <15 ms @100 nm and 250 nm; ±15 nm (ACS使用時)
最小 ステップサイズ: 10 nm
双方向再現性: 25 nm (100 nm時)
外形寸法:87×77×30mm(H/W/D)
リニアエンコーダ

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