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カタログ発行日:20210417 7mmレンジ、1Kg耐荷重のボイスコイル駆動Z軸フォーカスステージ PI社は、新しくボイスコイル駆動の対物レンズ駆動フォーカスステージをリリースしました。最大加速度:8m/s²最大速度: 200 mm/sステップ&静定時間 : <15 ms @100 nm and 250 nm; ±15 nm (ACS使用時)最小 ステップサイズ: 10 nm双方向再現性: 25 nm (100 nm時)外形寸法:87×77×30mm(H/W/D)リニアエンコーダ
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