動作範囲:> 360°
駆動面の直径:150mm~350mm
偏芯:100~200nm
平坦度:50-75nm
Wobble:1μrad~2µrad
耐荷重:190~1200N
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm
駆動面の直径:150mm~350mm
偏芯:100~200nm
平坦度:50-75nm
Wobble:1μrad~2µrad
耐荷重:190~1200N
内蔵センサー:インクリメンタル・アブソリュート
最大速度:500rpm
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