上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ナノメートル・サブミクロンメートル 精密位置決めにソリューションを
【目次】
・はじめに 〜高精度位置決めシステムソリューションを強化
・ピーアイ・ジャパン株式会社の紹介
・ピー・ヂー・ダブリュー株式会社の紹介
【PIとP-G-Wの相乗効果】
精密位置決めの中でも、特に半導体やFPD製造装置、実装機、検査装置、精密測定器や分析装置の中では、ワークを載せたステージが高速動作し、高精度な位置決めが行われています。そのスピードと精度は年々向上し要求も高くなっています。
しかし高速動作や激しい加減速には振動がつきもので、停止後もしばらくは装置内に微妙な振動が残ってしまうことがあります。
こうした振動を最小限に抑え、収束時間を短くするために、最も適したグラナイトベースにしたマシンベースが有効で広く使われています。
石定盤製造メーカーのP-G-Wが、精密位置決め機器メーカーPIグループに加わったことで、両社の優れた専門知識を融合させた、これまで以上の精密位置決めシステムやサービス、ソリューション事業を強化&提供できるようになっていきます。
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ピーアイ・ジャパン株式会社 本社