最終更新日:
2024-12-12 13:30:30.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー 静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性ダイナミクスを実現
P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング／スキャニング
・共振周波数1120Hz（210g負荷時560Hz）
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能～0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ
【用途】
・3D画像
・スクリーニング
・オートフォーカスシステム
・顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・表面形状解析
・ウェハー検査 など
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