![PIHera高精度ステージ P-620.Z-P-622.Z 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/6cb/2000032234/IPROS75627842121558068556.jpeg?w=140&h=140)
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上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
最終段位置計測と長いストロークを特徴とするナノポジショニングシステムシリーズ。0.02%の位置決め精度!
Z軸PIHera(R)システムは、ストロークが最大400μm、サブナノメートルの分解能を提供する、低価格のピエゾナノポジショニングステージです。
【特徴】
○垂直ストローク:50~400μm
○高精度、低コスト
○0.1nmの分解能
○静電容量センサーを内蔵
○0.02%の位置決め精度
○摩擦のない精密フレクシャガイドシステム
○PICMA(TM)ピエゾアクチュエータによる驚異の長寿命
○X、XY、Z、XYZバージョン
○真空対応バージョンも用意
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