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最終更新日:
2023-06-21 16:45:46.0
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
高 い平面度と真直度が要求される位置決めに最適！Z軸ピエゾステージ
P-733.Zピエゾ垂直ステージは、100μmのポジショニングおよびスキャニングレンジをサブナノメーターの分解能で提供します。
50 ×50mmのクリアアパーチャは、走査または共焦点顕微鏡法のような用途に理想的です。
これらはセットリング時間が10ミリ秒未満と速く、高いスループット率を実現します。
【特徴】
・移動範囲 100μm
・静電容量センサーで直接計測
・分解能～0.3nm（クローズドループ時）
・開口部50mmx50mm
・追加の自由度を持つ他のバージョンも利用可能
・XY、XYZバージョンあり
・真空対応バージョンも利用可能
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