プレシテック・ジャパン株式会社

ラインスキャンセンサ『CHRocodile CLS』

最終更新日: 2022-03-30 15:44:55.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

超高速3D測定を実現!最大6種類の測定ヘッドをご用意!
『CHRocodile CLS』は、100万ポイント/秒で高速3D測定を
実現した製品です。

ピッチ幅は5μm~43.5μm、ライン幅は0.96mm~8.3mmと
一度に幅広く且つ高い分解能に測定可能です。

レンジ幅、分解能、精度から最大6種類の測定ヘッドをご用意しております。

【特長】
■100万ポイント/秒で高速3D測定を実現
■一度に幅広く且つ高い分解能に測定
■超高速 1,152,000 ポイント/秒(6,000ライン/秒)
■最大6種類の測定ヘッドをご用意

ウエハ加工(研磨など)前後、加工中のウエハ形状測定、エッジ部外観検査、貼あわせウエハのずれ測定、TTV,平坦度、ワイヤボンディング形状、マイクロバンプ形状、溶接部形状、PCB形状、CMMへ搭載しての非接触距離センサなど

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
光センサ、非接触、共焦点、高さ、表面粗さ、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元形状、3D形状、ラインセンサ、ラインスキャン、全面測定、高精度、高速、In-Situ、加工中、加工前後、半導体、半導体ウエハ、透明体、光沢、鏡面

関連情報

3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』
3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』 製品画像
【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電(スマートフォン)
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点:主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法:主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。


【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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