測定事例集_半導体での非接触センサの活用_厚み測定_平坦度管理技術資料・事例集 | カタログ

測定事例集_半導体での非接触センサの活用_厚み測定_平坦度管理

最終更新日: 2022-03-30 19:04:06.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2022/3/8
高速・高精度な非接触センサの測定事例になります。半導体加工に関連した事例を載せています。
下記アプリの紹介資料となります。
1) ウエハボンディングの接着剤厚み測定
2) ポーラスチャックテーブルの平坦度管理

【用途・測定項目・メリットなどキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、表面粗さ、平坦度、TTV、形状、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハボンディング、ウエハ貼あわせ、ポーラスチャック、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

関連情報

３次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0

【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電（スマートフォン）
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査

３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』

【製品ラインナップ】
　・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW)
　　　厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。
　　　ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。
　　　最大70kHzの高速測定ができ、薄膜（数um)～厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。　　　
　・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner)
　　　2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
　　　振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。
　　　φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。
【その他の特長】
■測定レンジ：2IT1000 60μm～8000μm (n=1)　
　　　　　　　2IT500 35μm～4000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』

【アプリケーション】
■家電（スマートフォン）
・等角のコーティングの厚み
・トポグラフィー
■半導体
・高速BGA計測
・高速基板検査
・高速ウェハー厚み計測
・高速反り計測

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」

【半導体アプリケーション】
■高速BGA計測
■高速基板検査
■高速ウェハー厚み計測
■高速反り計測

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』

【その他の特長】
■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)　
　　　　　　　2DW500 30μm～4000μm(n=1)
　　　　　　　2DW250 15μm～2000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介

【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法：主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。

【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ

【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点
主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。
色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて
高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法
主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。
In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。

【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。100万円以下の安価なタイプもあります。

・ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

・エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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