プレシテック・ジャパン株式会社

表面粗さ測定 接触式測定結果との比較レポート -CHRocodile CHRocodile 色収差共焦点センサ

最終更新日: 2022-06-15 16:03:38.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

表面粗さ測定の接触式から非接触式へ置き換え可能な光学式センサ。高速・高精度測定。従来よりも短時間、広範囲測定が可能です。
本資料では、弊社の色収差共焦点方式の光学式センサによる表面粗さ測定の評価レポートを載せています。今日の表面粗さ測定の課題は、測定時間が長い、測定範囲が狭い、測定物を傷付ける、測定室以外などインラインでの使用が容易でないという点です。これは、非接触センサよりもコンタクトプローブによる接触式測定が主流となっているためです。光学式センサによる表面粗さ測定ができると、接触式から非接触式へ置き換えができ、上記課題を解決できます。

【特長】
 ■広範囲エリアの測定
  シングルポイントセンサで、最大66kHzの高速測定
  ラインセンサで、ステージ側で測定物を走査させ、たちまちエリア測定が可能。標準2kHz, オプションで6kHzの高速測定が可能。
 ■小さいビームスポット径
  物体表面を正確に捉えられる小さなビーム径。
  φ2umから。
 ■開発コスト低減、開発納期短縮に貢献できる、
  コンパクトなユニット、装置組込み用のソフト開発キット
 (DLLなど)も用意

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連情報

【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定
【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定 製品画像
【その他掲載内容】
■ラインセンサー:CHROMATIC LINE SENSOR(CLS)超高速3D計測
■色収差共焦点の測定原理
■色収差共焦点ラインセンサー:Chromatic Line Sensor(CLS)
■ラインセンサー:CHROMATIC LINE SENSOR(CLS)超高速3D測定
■新製品CLS2.0の特長
■ラインセンサー:CLSのスペック(SPECIFICATIONS)
■CLSプローブのスペックシート(SPECIFICATIONS)
■ラインセンサー:CLS2.0のスペック(SPECIFICATIONS)
■CLS2.0プローブのスペックシート(SPECIFICATIONS)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0
3次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0 製品画像
【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電(スマートフォン)
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介
プレシテック社 非接触センサメーカーのご紹介 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点:主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法:主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。


【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』
3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』 製品画像
【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電(スマートフォン)
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査

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