プレシテック・ジャパン株式会社

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半導体向けプレシテック製品のソリューション_20220628

最終更新日: 2022-07-05 17:28:21.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

カタログ発行日：2022/7/1
プレシテック製光センサの半導体の工程別に適用可能なアプリケーションを提示。高精度・高速測定が可能で、インライン用途に好適。
半導体分野でのアプリケーション事例を中心に紹介しています。
会社情報、製品情報、測定原理の情報も載せております。

【用途・測定項目・メリットキーワード】
非接触、光センサ、光学センサ、共焦点、分光干渉法、厚み、薄膜、厚膜、ギャップ、高さ、平坦度、TTV、形状、表面粗さ、外観、エッジ、斜面、計測、測定、検査、高速、3次元、ラインセンサ、ラインスキャン、エリアスキャン、全面、小型、コンパクト、安い、高精度、インライン、モニタリング、In-Situ、加工中、加工前後、研磨、オフライン、スタンドアロン機、卓上機、抜き取り、組込み、半導体、ウエハ、ウエハボンディング、ウエハ貼あわせ、レベリング、アライメント、ポーラスチャック、Siウエハ、Si, GaAs, InP, SiC, LiNbO3(LN), LiTaO3(LT), GaN, SiP、Al2O3(サファイア）、ダイシング溝、フリップチップ、ワイヤボンダ、マイクロバンプ、フォトレジスト、フォトマスク、はんだばんぷ、ボンドライン厚み(BLT)、透明、透明体、黒色、光沢、鏡面、簡単

関連情報

【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定
【資料】プレシテック製光学センサによる表面粗さ測定 製品画像
【その他掲載内容】
■ラインセンサー：CHROMATIC LINE SENSOR（CLS）超高速3D計測
■色収差共焦点の測定原理
■色収差共焦点ラインセンサー：Chromatic Line Sensor（CLS）
■ラインセンサー：CHROMATIC LINE SENSOR（CLS）超高速3D測定
■新製品CLS2.0の特長
■ラインセンサー：CLSのスペック（SPECIFICATIONS）
■CLSプローブのスペックシート（SPECIFICATIONS）
■ラインセンサー：CLS2.0のスペック（SPECIFICATIONS）
■CLS2.0プローブのスペックシート（SPECIFICATIONS）

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
３次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0
３次元形状測定用ラインセンサCHROCODILE CLS2.0 製品画像
【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電（スマートフォン）
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査
３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』
３次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』 製品画像
【アプリケーション】
非接触による3次元形状測定が可能です。
接触式⇒非接触式への置き換えも可能です。

■家電（スマートフォン）
・LCDガラス
・OLEDマスク検査
・表面の細かいスクラッチ等のキズ
・ワイヤボンディング
・ARグラス
■半導体製造プロセス
・欠陥検査
・BGA検査
・ICパッケージや回路検査
■自動車関係
・バルブ検査
・車の内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接ビードの検査
半導体業界のCMP工程および研削工程の制御
半導体業界のCMP工程および研削工程の制御 製品画像
【その他特長】
■オペレーターが高い研削レートを達成でき、結果として加工時間が著しく短縮
■工程の最後に再びレートを下げ、ウエハーの滑らかな仕上げを維持可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』
厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■測定レンジ：2DW1000 50μm～8000μm (n=1)　
　　　　　　　2DW500 30μm～4000μm(n=1)
　　　　　　　2DW250 15μm～2000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』
小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』 製品画像
【アプリケーション】
■家電（スマートフォン）
・ディスプレイガラスの厚み
・OLEDマスク検査
・回路パターン
・ボンディング
■メカニカル部品
・トポグラフィー
・3D形状測定
・反りや平坦度計測
・粗さ測定
■自動車
・バルブ検査
・内装
・ガラス検査
・エアバッグの溶接検査

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】
高精度非接触厚さ測定器【半導体用ウエハー】 製品画像
【用途例】
■微細構造の形状欠陥検査（LED dots、ボールグリッドアレイ、コネクタ外観、チップ／PCBフレキの反り）
■ワイヤボンディングのループ高さ検査
■薄膜・厚膜の膜厚測定（ウエハ、接着剤、塗布膜、樹脂コート）※2～10500μmの厚み測定が可能
■粗さ測定（ウエハ面、金属表面）
■変位測定（トレンチ深さ、パターン高さ・幅）

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」
非接触厚み測定　光学センサ「CHRocodile 2シリーズ」 製品画像
【ラインアップ】
<CHRocodile 2 DPS（色収差共焦点方式）>
・光源：白色LED
・プローブにより100μm～38.5mmまで測定可能
・材料によらず全体の厚みを測定可能

<CHRocodile 2 IT（分光干渉原理方式）>
・光源：赤外SLD
・最大16層まで厚み測定可能
・研磨後のウエハに対応可能

<CHRocodile 2 DW（分光干渉原理方式）>
・光源：赤外SLD
・幅広い厚みレンジに対応
・ドープウエハに対応可能

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』 製品画像
【製品ラインナップ】
　・シングルポイントセンサ (2IT, 2IT-DW, 2IT-RW)
　　　厚み計測用センサで、表面状態、材質によって適切な照明のセンサを選択できます。
　　　ドープウエハの測定では2IT-DWシリーズ、表面の粗いウエハなどでは2IT-RWシリーズが最適です。
　　　最大70kHzの高速測定ができ、薄膜（数um)～厚膜(1260um)まで複数のプローブでカバーできます。　　　
　・エリアスキャナセンサ (Flying Spot Scanner)
　　　2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
　　　振動の影響がなく、稼働ステージ不要になります。
　　　φ40, φ80, φ300mmのタイプがあり、最大70kHzの高速測定ができます。
【その他の特長】
■測定レンジ：2IT1000 60μm～8000μm (n=1)　
　　　　　　　2IT500 35μm～4000μm(n=1)
■分解能：最大1nm(n=1)
■インターフェイス：Ethernet,RS422,アナログ(2ch)

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ
高速・高精度な厚み測定、形状測定に！プレシテック社　非接触センサ 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点
主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。
色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて
高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法
主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。
In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。

【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。100万円以下の安価なタイプもあります。

・ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

・エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介
プレシテック社　非接触センサメーカーのご紹介 製品画像
【原理】
当社製品は測定原理で主に2種類のラインナップに分けることができます。
■色収差共焦点：主に表面形状の計測に使用され、高さ計測、表面3D形状の計測などが主な用途です。色収差共焦点の原理を利用した大きな焦点深度と、当社の優れた光学設計技術を用いて、高速・高精度・高い角度許容度の測定を実現します。

■分光干渉法：主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。


【製品ラインナップ】
■シングルポイントセンサ
形状測定、厚み測定用センサがあります。
100万円以下の安価なタイプもあります。

■ラインセンサ
主に形状測定用で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。

■エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
形状測定、厚み測定に利用できます。

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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