最終更新日:
2023-04-05 18:22:56.0
従来の色収差共焦点法・分光干渉法に加え、レーザー加熱を利用した厚み測定センサも登場。非接触で透明体だけでなく不透明体の厚みも測定
プレシテックはドイツの非接触センサメーカーです。色収差共焦点法、分光干渉法を利用した光学式センサの開発・製造をしています。
2022年末にフランスのEnovasense社を買収し、不透明体の厚みを測定できるレーザー加熱を利用したセンサもラインナップに加わりました。
高速・高精度な厚み測定を得意としており、ウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルムなどの検査に使用されています。幅広い測定範囲 、許容角度、様々な材質に対応でき、全面測定に向いているラインセンサ、エリアスキャナもあります。
半導体製造装置への搭載実績も多数あり、LCD製造装置、フィルムのインライン検査でも使用されています。また、スタンドアロンなどの卓上機の組み込み用センサとしても利用されています。
Enovasense社のセンサは、航空関係の部品の塗膜、コーティング厚みでの実績もございます。
基本情報
【原理】
当社製品は測定原理で主に3種類のラインナップがあります。
■色収差共焦点
主に表面形状の計測に使用されていますが、透明体の厚み測定にも利用できます。分光干渉法より精度は劣りますが、安価な厚み測定をご希望の場合はこちらがお勧めです。
■分光干渉法
主に厚み計測に使用します。分光干渉法の強みを活かしたサブミクロンの高精度測定ができます。
In-situ/モニタリング/インライン用などに必要な高速測定が可能です。
■レーザー加熱を利用した方法(Enovasense社製センサ）
レーザーダイオードで対象物を加熱。厚みに依って熱の伝搬スピードが異なるところを利用しています。独自のアルゴリズムで、対象物からの輻射熱を検知し、厚みに換算します。
【製品ラインナップ】
・シングルポイントセンサ
高精度タイプから、100万円以下の安価なタイプもあります。
・ラインセンサ
色収差共焦点で、稼働ステージと併用して全面測定ができます。
・エリアスキャナセンサ
2軸ガルバノでエリアスキャンができるタイプです。
振動の影響がなく、稼働ステージ不要のエリアスキャナもあります。
| 価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 下記の厚み測定用途にご使用ください。 ウエハ、ドープウエハ、コーティング、フィルム、塗装膜、防食コーティング、フィルム、バッテリーホイル、塗膜、ウェットコーティング、ドライコーティング、防錆用の合金コーティング、蒸着膜、アルミニウムアルマイト、 亜鉛メッキ、燃料電池バイポーラプレート上コーティング、 |
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