ピュアオンジャパン株式会社

2022-07-21 00:00:00.0
SiCウエハの加工事例を公開しました!

SiCウエハの研磨工程

SiCウエハの研磨工程

SiCインゴットのスライス工程

SiCインゴットのスライス工程

カタログニュース   掲載開始日: 2022-07-21 00:00:00.0

ピュアオンでは、欧米で大手次世代パワー半導体メーカーと連携し、EVの開発に貢献しています。
以下の事例ブックでは、次世代パワー半導体に使われるSiCインゴットのスライスやウエハ加工の事例をご紹介いたします。
SiCやGaNの加工でお困りの方はぜひ一度ご相談ください。

★マルチワイヤーソーを使用したSiCインゴットのスライスを効率化!
https://premium.ipros.jp/pureon/catalog/detail/656418/?hub=165&categoryId=59887

★SiCウエハの加工時間を短縮し、不良品を削減!
https://premium.ipros.jp/pureon/catalog/detail/646885/?hub=165&categoryId=59887

なお、これらの製品は海外の半導体業界向け雑誌『Compound Semiconductor』でも紹介されました。
https://premium.ipros.jp/pureon/news/detail/95752/?hub=160

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マルチワイヤーソーの切断速度向上と高い再現性を実現するグリコール系ダイヤモンドスラリー。水溶性で洗浄しやすく、環境に優しい!

WSGは、高性能マルチワイヤーソーにご利用いただけるグリコール系ダイヤモンドスラリーです。お手元に届き次第すぐにご使用いただけます。弊社独自の添加剤がスラリーとワイヤーとの接着を促進し、切断速度を向上させます。 【特徴】 ■テーラーメイド仕様 ダイヤモンドの種類、砥粒の大きさ、濃度を自由に選択できます。 ■高い研磨レート ワイヤーへの最適な付着性を持ち、高い研磨レートが持続します ■高い再現性 独自の配合により 分散化加工が不要です。 ■水溶性で環境にやさしく、お手入れも簡単 ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。
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※現在開発中の製品です。 IRINO-PRO-Cは、ラッピング加工(金属定盤)とポリッシング加工(研磨パッド)の工程間ギャップを埋めることが可能な新しい研磨プロセスです。 銅と樹脂の複合材料にて構成されており、用途に合わせてピュアオンの専用ダイヤモンドスラリーを組み合わせる事で優れた研磨レートと平坦性を両立します。 特にSiC・セラミック・サファイア等の超硬質材料の加工において効果を発揮し、金属定盤に近い加工レートを実現しつつ、平滑で加工傷の少ない仕上り面を両立します。 この特徴から後工程のポリッシング時間短縮を実現し、総加工時間削減の効果が期待できます。 パッドの裏面には定盤貼付け用粘着テープがついており、研磨機定盤への貼付けも容易にできます。 【特徴】 ■金属定盤と研磨パッドの特性を両立した製品 ■Ra 1nmレベルの面仕上がりと錫など柔らかめの金属定盤に匹敵する研磨レートを両立 ■エッジの面ダレを起こさないフラットな仕上がり ■フラットな定盤の片面/両面研磨機にて使用可能(ドレス必須) ■ピュアオンの各種ダイヤモンドスラリーとの組合せにより最高のパフォーマンスを発揮
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セラミックスやガラス、各種金属などのワークの研削加工におすすめの研磨パッドです。メタルボンドで固定されたダイヤモンド砥粒により、高い研磨レートを維持します。高い研削性を維持し、高寿命であることに加え、メタルボンド仕様のため、ほとんどすべての冷却潤滑材(クーラント)に対応しています。 【特徴】 ■サファイアも研磨可能な高い研削性 ■常に平面かつ精密なエッジ ■研磨紙やスラリーより経済的 ■スラリー不要のため環境に配慮されている ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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