装置概略構成
・ウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されています。
・集光センサーからの光は、測定サンプルの表面及び裏面で反射され、再び集光センサーを通ってPDで干渉波を発生させます。
・ウェハ厚み測定器は、精密に発振波長を制御された波長可変光源、集光センサー、受光器(PD)から構成されています。
・集光センサーからの光は、測定サンプルの表面及び裏面で反射され、再び集光センサーを通ってPDで干渉波を発生させます。
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兼松PWS株式会社