兼松PWS株式会社

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4

最終更新日: 2021-06-07 16:59:30.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

最大8インチ対応角基板まで対応可能 セミオートアライメント対応マスクアライナ/ボンドアライナ
・対応基板サイズ
MABA6 : 小片~最大φ150mm
MABA8 : 小片~最大φ200mm
※150×150,200×200mm対応はオプション

・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
プロキシミティ露光ギャップ: 1~300μm
オプションフラッド露光分割露光

・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性: ±2.5%

・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
BSAアライメント
IRアライメント(オプション)

・アライメントモード
マニュアルアライメント
オートアライメント(オプション)
DirectAlign(オプション)

・オプション機能
小片基板用対物レンズ
赤外光アライメント
ボンドアライメント
SMILE(ウェハーレベルレンズインプリント及びスタック)

関連情報

SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4
SUSS MicroTec 手動マスクアライナMA/BAGen4 製品画像
・対応基板サイズ
MABA6 : 小片~最大φ150mm
MABA8 : 小片~最大φ200mm
※150×150,200×200mm対応はオプション

・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
プロキシミティ露光ギャップ: 1~300μm
オプションフラッド露光分割露光

・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性: ±2.5%

・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
BSAアライメント
IRアライメント(オプション)

・アライメントモード
マニュアルアライメント
オートアライメント(オプション)
DirectAlign(オプション)

・オプション機能
小片基板用対物レンズ
赤外光アライメント
ボンドアライメント
SMILE(ウェハーレベルレンズインプリント及びスタック)

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