MABA6 : 小片~最大φ150mm
MABA8 : 小片~最大φ200mm
※150×150,200×200mm対応はオプション
・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
プロキシミティ露光ギャップ: 1~300μm
オプションフラッド露光分割露光
・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性: ±2.5%
・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
BSAアライメント
IRアライメント(オプション)
・アライメントモード
マニュアルアライメント
オートアライメント(オプション)
DirectAlign(オプション)
・オプション機能
小片基板用対物レンズ
赤外光アライメント
ボンドアライメント
SMILE(ウェハーレベルレンズインプリント及びスタック)