・対応基板サイズ
小片 5×5mm~最大φ100mm
※100×100mm対応はオプション
・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
ギャップ露光(1~300μm)
オプション:フラッド露光 分割露光
・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ200W, 350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性
標準:±4.0%(標準)
MO Exposure Optics:±2.5%(オプション)
・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
赤外光透過アライメント(オプション)
・オプション機能
MO Exposure Optics
小片基板用対物レンズ
赤外光透過アライメント
モニター画像観察(デジタルカメラ仕様)
小片 5×5mm~最大φ100mm
※100×100mm対応はオプション
・露光モード
コンタクトソフト, ハード, バキューム
ギャップ露光(1~300μm)
オプション:フラッド露光 分割露光
・露光光学系
波⾧
UV400 350~450nm
UV300 280~350nm
UV250 240~260nm
光源
光源水銀ランプ200W, 350W
水銀キセノンランプ500W
UV-LED ( i, h, g線対応)
面内照度均一性
標準:±4.0%(標準)
MO Exposure Optics:±2.5%(オプション)
・アライメント方式
TSAアライメント(表面アライメント)
赤外光透過アライメント(オプション)
・オプション機能
MO Exposure Optics
小片基板用対物レンズ
赤外光透過アライメント
モニター画像観察(デジタルカメラ仕様)