・装置仕様
対応基板サイズ:2~8インチウェハ
測定精度:0.2um (3σ)
可視光観察
非接触プリアライナー
・オプション
赤外光観察
ウェハ搬送機構(DSM200 Gen2)
対応基板サイズ:2~8インチウェハ
測定精度:0.2um (3σ)
可視光観察
非接触プリアライナー
・オプション
赤外光観察
ウェハ搬送機構(DSM200 Gen2)
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兼松PWS株式会社