最終更新日:
2023-03-27 11:26:09.0
正確な分析位置の特定・確認を短時間で実施！情報深さ0.5～6nmの分析が可能
『XPS・AES複合機』は、SEM/EDS分析では難しかった試料最表面数ナノメートルの
厚み領域における元素分析・化学状態分析が可能な製品です。
試料最表面の分析が可能（情報深さ0.5～6nm）。XPSは有機・無機の
表面分析/化学状態分析（X線）を行います。
AESで行う無機の微小部（<100nm）元素分析では、実際の分析時と同じX線で
励起された光電子像を用いるため、正確な分析位置の特定・確認を短時間で
行なうことができます。
【特長】
■SEM/EDS分析では難しかった試料最表面数ナノメートルの厚み領域における
元素分析・化学状態分析が可能
■試料最表面の分析が可能（情報深さ0.5～6nm）
■XPS：有機・無機の表面分析/化学状態分析（X線）
■AES：無機の微小部（<100nm）元素分析（電子線）
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基本情報
【はんだ濡れ不良の解析例】
■はんだが正常に濡れたものとはじきが見られたもので、表面の元素組成が
異なっていることをXPSで確認
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