PLAZMARK(R) の特長の一つが、プラズマ密度により変色の濃淡が現れることから、
面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート型」を
ラインアップしていましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、
ウエハプロセスには不向きでした。
この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、
普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することが可能となりました。
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート型」を
ラインアップしていましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、
ウエハプロセスには不向きでした。
この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、
普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することが可能となりました。
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
