【プラズマ見える化で確認できる項目】
◎プラズマ処理効果の確認
・正常状態の確認
・再現性の確認
・装置管理
◎面内分布の確認
・プラズマの均一性・分布の確認
・異常放電検知
・3次元形状での効果確認
◎プラズマの広がりの確認
・プラズマ閉じ込め効果の確認
・周辺部材への影響確認
◎装置間の性能差の確認
・同型処理、同一プロセス装置の処理効果のバラツキ確認
◎プラズマ処理効果の確認
・正常状態の確認
・再現性の確認
・装置管理
◎面内分布の確認
・プラズマの均一性・分布の確認
・異常放電検知
・3次元形状での効果確認
◎プラズマの広がりの確認
・プラズマ閉じ込め効果の確認
・周辺部材への影響確認
◎装置間の性能差の確認
・同型処理、同一プロセス装置の処理効果のバラツキ確認