株式会社サクラクレパス

PI事業部

マンガでわかる!プラズマインジケータ『PLAZMARK』

最終更新日: 2024-04-05 13:41:28.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

プラズマ処理効果の見える化!プラズマ処理効果の評価ツールをマンガで解説
当冊子では、プラズマ中の活性種(ラジカル・イオン)により変色する
機能性色材を用いた評価ツールのプラズマインジケータ「PLAZMARK」を
マンガでわかりやすく解説しています。

プラズマ処理の効果確認には、これまで高価な装置が必要であったり、
測定に手間がかかっていましたが、プラズマインジケータなら目視での
チェックが可能です。

また、誰もが簡単に短時間でチェックできるので、作業効率アップや
コスト圧縮に貢献します。

【特長】
■様々なチェックが可能
 ・プラズマ処理効果の確認
 ・面内分布の確認
 ・プラズマの広がりを確認
 ・装置間の性能差の確認
■目視だけで簡単・正確チェック

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説
プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説 製品画像
【プラズマ見える化で確認できる項目】
◎プラズマ処理効果の確認
 ・正常状態の確認
 ・再現性の確認
 ・装置管理
◎面内分布の確認
 ・プラズマの均一性・分布の確認
 ・異常放電検知
 ・3次元形状での効果確認
◎プラズマの広がりの確認
 ・プラズマ閉じ込め効果の確認
 ・周辺部材への影響確認
◎装置間の性能差の確認
 ・同型処理、同一プロセス装置の処理効果のバラツキ確認
仕組みを漫画で解説!目視チェック可能なプラズマ処理効果評価ツール
仕組みを漫画で解説!目視チェック可能なプラズマ処理効果評価ツール 製品画像
【仕様】
[PLAZMARK O2クリーニング用]
■対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm

[PLAZMARK Arクリーニング用]
■対応ガス:Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説
プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)をマンガで解説 製品画像
【プラズマ見える化で確認できる項目】
◎プラズマ処理効果の確認
 ・正常状態の確認
 ・再現性の確認
 ・装置管理
◎面内分布の確認
 ・プラズマの均一性・分布の確認
 ・異常放電検知
 ・3次元形状での効果確認
◎プラズマの広がりの確認
 ・プラズマ閉じ込め効果の確認
 ・周辺部材への影響確認
◎装置間の性能差の確認
 ・同型処理、同一プロセス装置の処理効果のバラツキ確認
【マンガで解説】プラズマ処理効果を色で判定!機能性色材評価ツール
【マンガで解説】プラズマ処理効果を色で判定!機能性色材評価ツール 製品画像
【仕様】
[PLAZMARK O2クリーニング用]
■対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm

[PLAZMARK Arクリーニング用]
■対応ガス:Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度:高感度
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm
PLAZMARK「耐熱性」に高感度タイプ
PLAZMARK「耐熱性」に高感度タイプ 製品画像
■高い変色感度を実現。
現行ラインナップ品(型番:No.102 低感度品)に比較して1.5~2 倍の感度を実現しております。下図はプラズマ処理時間に対するインジケータの変色色差の変化ですが、現行品(No.102)に比較して短時間で大きく変色していることがわかります。(グラフ縦軸の変色度合を数値化する
ためには別途、色差計が必要です。)
■現行品の特長はそのまま踏襲。
・耐熱性:200℃
・基材がポリイミドフィルムのためフレキシブル性があり、また粘着層付のため、
立体物や曲面であっても、測定したい場所に手軽に貼り付けることができます。
プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ PLAZMARK』
プラズマ評価ツール『プラズマインジケータ PLAZMARK』 製品画像
【製品種類】
[クリーニング用 実装工程/後工程向け]
○減圧プラズマでの処理効果を簡便にチェック
→配線銅めっき前の表面改質
→ワイヤーボンディング・パッケージング前のクリーニング
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用可能
[耐熱性ラベル型]
○色材に無機材料、基材にポリイミドを採用することにより、
 ラベル型でありながら高い耐熱性(200℃)を実現
○フレキシブル性、接着性があるので、基板表面や装置内に
 自由に貼り付け評価できる
[大気圧プラズマ用 常圧処理工程/洗浄工程用]
○新規有機色材の開発により、クリーニング用よりも高感度化を実現
○プリント配線板製造/FPD製造/フィルム加工など、
 大面積の大気圧(常圧)プラズマ処理のチェックに適している
○UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できる
[ウエハ型]
○ご使用の基板と同じ形状のインジケータを用いることにより、
 普段と同じハンドリングで装置に設置でき、簡単に面内分布を見える化できる

●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用
PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用 製品画像
【仕様】
[PLAZMARK O2クリーニング用]
■対応ガス:O2をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
■感度:No.1(高感度)
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm

[PLAZMARK Arクリーニング用]
■対応ガス:Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
■感度:No.21(高感度)
■形状:カード、ラベル(貼付可能)、シート
■耐熱性:100℃
■構成:本体 PETフィルム、検知部 有機色材、レジン
■サイズ:(カード・ラベル)本体 20×70×0.2mm、検知部 φ11mm
     (シート)本体 210×297×0.2mm、検知部 190×290mm

 


※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK 耐熱性』
プラズマ処理効果評価ツール『PLAZMARK 耐熱性』 製品画像
【仕様】
■対応ガス:Ar、O2、H2、CF4、SF6、Cl2
■感度:No.101(高感度)、No.102(低感度)
■構成
 本体:ポリイミド
 検知部:無機色材、レジン
■サイズ
 本体:16 mm×25 mm×80μm
 検知部:φ10 mm
■入数:10枚

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
プラズマ処理効果評価ツール【PLAZMARK 大気圧プラズマ用】
プラズマ処理効果評価ツール【PLAZMARK 大気圧プラズマ用】 製品画像
【仕様】
■対応ガス:O2、N2、Air
■感度:No.41(高感度)、No42(低感度)
■構成
 本体:クリーンペーパー
 検知部:有機色材、レジン
■サイズ
 ・ロングラベル
  本体:35×300×0.2 mm
  検知部:300×15 mm
 ・シート
  本体:210×300×0.2 mm
  検知部:190×300 mm

※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
プラズマインジケータ【PLAZMARK Arクリーニング用】
プラズマインジケータ【PLAZMARK Arクリーニング用】 製品画像
【仕様】
■構成
・本体:PET
・検知部:有機色材、レジン、接着層(ラベルのみ)
■サイズ(カード、ラベル/シート)
・本体:20×70×0.2mm/A4サイズ(0.2mm厚)
・検知部:φ11mm/190×290mm

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマ処理効果を「色で見える化」!セラミックタイプ
プラズマ処理効果を「色で見える化」!セラミックタイプ 製品画像
PLAZMARK(R) の特長の一つが、プラズマ密度により変色の濃淡が現れることから、
面内分布を簡単に評価できることです。これまで面内分布評価用に「シート型」を
ラインアップしていましたが、基材がフィルムでまた形状も長方形であったため、
ウエハプロセスには不向きでした。

この度、ユーザーがお使いのウエハサイズと同一形状のインジケータを商品化することにより、
普段と同じハンドリングで簡単に、プラズマ処理効果の面内分布を評価することが可能となりました。

※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ」【サンプル進呈】
プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ」【サンプル進呈】 製品画像
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
  1.真空(減圧)
  2.大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
  1.100℃以下
  2.100~200℃
  3.200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
  1.アルゴン
  2.酸素
  3.それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ耐熱性」【サンプル進呈】
プラズマ評価ツール「プラズマインジケータ耐熱性」【サンプル進呈】 製品画像
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
  1.真空(減圧)
  2.大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
  1.100℃以下
  2.100~200℃
  3.200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
  1.アルゴン
  2.酸素
  3.それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
プラズマインジケータ特別価格販売のご案内
プラズマインジケータ特別価格販売のご案内 製品画像
【No.102の特長】
■緩やかに変色する低感度ラインアップで、長時間処理や強力な処理の確認に
 適している。

 ・色材:無機材料
 ・基材:ポリイミド(粘着層付き)
 ・形状:ラベルのみ
 ・感度:低感度タイプ(No.101との比較において)
 ・耐熱性:200℃

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『期間延長』プラズマインジケータ特別価格販売のご案内
『期間延長』プラズマインジケータ特別価格販売のご案内 製品画像
【No.102の特長】
■緩やかに変色する低感度ラインアップで、長時間処理や強力な処理の確認に
 適している。

 ・色材:無機材料
 ・基材:ポリイミド(粘着層付き)
 ・形状:ラベルのみ
 ・感度:低感度タイプ(No.101との比較において)
 ・耐熱性:200℃

※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
※『PLAZMARKⓇ デスミア用』(開発品)
※『PLAZMARKⓇ デスミア用』(開発品) 製品画像
【その他の特長】
◎簡単
・装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
・処理後すぐに「色」で判断
◎確実
・判定記録として残せ、工程管理にも利用可能
・変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見れる
◎安価
・高額な評価装置が不要なため設備経費を軽減
・評価時間が短縮でき、総合的な生産性を向上
*『PLAZMARKⓇデスミア用』は現在開発中のため、仕様は予告なく変更になることがあります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『PLAZMARKⓇ 』プラズマーク※無料サンプル進呈中
『PLAZMARKⓇ 』プラズマーク※無料サンプル進呈中 製品画像
【特長】
◎プリント配線板ビアホールのデミアス処理用
◎対応ガス:O2+CF4
◎適用エッチング量:~6μm(ポリイミド)
◎簡単
・装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
・処理後すぐに「色」で判断
◎確実
・判定記録として残せ、工程管理にも利用可能
・変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見れる
◎安価
・高額な評価装置が不要なため設備経費を軽減
・評価時間が短縮でき、総合的な生産性を向上
*『PLAZMARKⓇデスミア用』は現在開発中のため、仕様は予告なく変更になることがあります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『PLAZMARK』密度に応じて段階的に変色するプラズマ計測器?
『PLAZMARK』密度に応じて段階的に変色するプラズマ計測器? 製品画像
【特長】
◎プリント配線板ビアホールのデミアス処理用
◎対応ガス:O2+CF4
◎適用エッチング量:~6μm(ポリイミド)
◎簡単
・装置内に置くだけ、煩雑な機器操作は不要
・処理後すぐに「色」で判断
◎確実
・判定記録として残せ、工程管理にも利用可能
・変色は簡単に数値化でき、他の測定結果との相関を見れる
◎安価
・高額な評価装置が不要なため設備経費を軽減
・評価時間が短縮でき、総合的な生産性を向上
*『PLAZMARKⓇデスミア用』は現在開発中のため、仕様は予告なく変更になることがあります。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高額な装置、熟練作業は不要!プラズマインジケータ【サンプル無償】
高額な装置、熟練作業は不要!プラズマインジケータ【サンプル無償】 製品画像
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
  1.真空(減圧)
  2.大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
  1.100℃以下
  2.100~200℃
  3.200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
  1.アルゴン
  2.酸素
  3.それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
面倒な重量測定なしで、プラズマデスミア工程を管理!プラズマーク
面倒な重量測定なしで、プラズマデスミア工程を管理!プラズマーク 製品画像
【ラインアップ】
■高感度 No.61(レッド):ソフトなデスミア処理用
■低感度 No.62(ブルー):強めのデスミア処理用

【仕様(抜粋)】
■形 状:ラベル(貼付可能)
■耐熱性:100℃
■構 成
 ・本体:アルミ箔/PET複合材
 ・検知部:有機色素
 ・台紙:PET
■入 数:120枚
■対応ガス種:O2+CF4

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに!メタルフリータイプ
シリコン半導体の工程等、クリーンなプロセスに!メタルフリータイプ 製品画像
【先行サンプル仕様】
■8インチシリコン
・基板サイズ:直径Φ200±0.5mm、厚み725±25μm、ノッチ形状Vノッチ
・梱包単位:1枚~
■12インチシリコン
・基板サイズ:直径Φ300±0.2mm、厚み775±25μm、ノッチ形状Vノッチ
・梱包単位:1枚~

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマインジケータ『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』
プラズマインジケータ『PLAZMARK 大気圧用超高感度タイプ』 製品画像
【仕様(一部)】
<No.40(超高感度)>
■形状:ロングラベル(貼付可能)
■構成
・本体:クリーンペーパー
・検知部:有機色材、レジン
■サイズ
・本体:35×300×0.2mm
・検知部:300×15mm
■耐熱性:100℃
■入数:20枚
■略号:PLL0430-40

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<カード型>
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<カード型> 製品画像
【仕様(一部)】
<No.20(超高感度)>
■耐熱性:100℃
■構成
・本体:PETフィルム
・検知部:有機色材、レジン
■サイズ
・本体:20×70×0.2mm
・検知部:φ11mm
■入数:100枚
■略号:PLC0207-20

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<ラベル型>
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<ラベル型> 製品画像
【仕様(一部)】
<No.20(超高感度)>
■耐熱性:100℃
■構成
・本体:PETフィルム
・検知部:有機色材、レジン
■サイズ
・本体:20×70×0.2mm
・検知部:φ11mm
■入数:100枚
■略号:PLL0207-20

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<シート型>
インジケータ『PLAZMARK Arクリーニング用』<シート型> 製品画像
【仕様(一部)】
<No.20(超高感度)>
■耐熱性:100℃
■構成
・本体:PETフィルム
・検知部:有機色材、レジン
■サイズ
・本体:210×297×0.2mm
・検知部:190×290mm
■入数:5枚
■略号:PLC2130-20

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
プラズマインジケータPLAZMARKとは?
プラズマインジケータPLAZMARKとは? 製品画像
【こんなお困りごとありませんか?】
■分布と再現性が確認できず、不良品が発生している
■装置の費用や測定の手間によるコストが発生してしまう
■プラズマの評価方法に統一性がなく、結果がばらつきが気になる
■3次元形状だから処理ムラの確認がしづらいのが悩み

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
「プラズマ見える化」によりチェックが可能
「プラズマ見える化」によりチェックが可能 製品画像
【その他特長】
■周辺へのプラズマの影響
・プラズマ閉じ込め効果の確認/周辺部材への影響を確認
■同型装置、同一プロセス装置の処理効果
・装置間バラツキの低減/早急なトラブルシューティング

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【PLAZMARK活用事例】樹脂成形品メーカー 生産技術部
【PLAZMARK活用事例】樹脂成形品メーカー 生産技術部 製品画像
【その他事例概要】
■結果
・装置のパフォーマンスの経時変化を毎日のチェックで未然に防止
・安定した品質の製品が納入できるようになった
・ユーザーからの評価も高まり、受注量も拡大傾向

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【PLAZMARK活用事例】半導体メーカー パッケージング部門
【PLAZMARK活用事例】半導体メーカー パッケージング部門 製品画像
【その他事例概要】
■結果
・作業効率が飛躍的に改善し、コストが大きく圧縮
・確認作業を毎日のルーティンに切り替えることができた
・品質の安定につながり、ライン全体のVEにつながった

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【PLAZMARK活用事例】MEMS部品メーカー 工程管理課
【PLAZMARK活用事例】MEMS部品メーカー 工程管理課 製品画像
【その他事例概要】
■結果
・簡単にしかも瞬時に装置の現状把握ができ、生産品質の顕著な向上
・色差計導入の社内の承認も非常にスムーズに得ることができた

※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【PLAZMARK】処理強度に応じ変色するプラズマ効果確認ツール
【PLAZMARK】処理強度に応じ変色するプラズマ効果確認ツール 製品画像
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】
♦プラズマを使う環境を教えてください。
  1.真空(減圧)
  2.大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
  1.100℃以下
  2.100~200℃
  3.200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
  1.アルゴン
  2.酸素
  3.それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。
正確なプラズマ測定ですか?プラズマ測定におけるお悩み解決事例
正確なプラズマ測定ですか?プラズマ測定におけるお悩み解決事例 製品画像
【サンプルご希望の方は適切な商品を選定させて頂きますので、下記質問にご協力お願いします】

♦プラズマを使う環境を教えてください。
  1.真空(減圧)
  2.大気圧
♦プロセス温度を教えてください。
  1.100℃以下
  2.100~200℃
  3.200℃以上
♦プロセスガスを教えてください。
  1.アルゴン
  2.酸素
  3.それ以外

※どうぞお気軽に、サンプルお申し付けください。

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株式会社サクラクレパス PI事業部