【仕様】
■露光光源:照度分布±5%以内
■露光解像度
・ソフトコンタクトL/S 3μm
・ハードコンタクトL/S 1μm
■アライメント精度
・Top-side ±1μm
・Bottom-side ±3μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■露光光源:照度分布±5%以内
■露光解像度
・ソフトコンタクトL/S 3μm
・ハードコンタクトL/S 1μm
■アライメント精度
・Top-side ±1μm
・Bottom-side ±3μm
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。