株式会社三明

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PECプロセス装置

最終更新日: 2023-02-08 16:11:23.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

PECプロセス装置
PECプロセス装置 製品画像
【仕様】
■型式:PEC-6
■エッチング方式
 ・Photo-Electro Chemical:光電気化学
■適応ワーク:□10mm小片チップ、φ2~6インチ
■UVA光源:超高圧水銀灯315~400nm 15mW/sm2以上
■UVC光源:プラズマ光源220~320nm 12mW/sm2以上
■薬液供給:2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液
■外形寸法:1470(H)×650(W)×750(D)

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