【仕様】
■型式:PEC-6
■エッチング方式
・Photo-Electro Chemical:光電気化学
■適応ワーク:□10mm小片チップ、φ2~6インチ
■UVA光源:超高圧水銀灯315~400nm 15mW/sm2以上
■UVC光源:プラズマ光源220~320nm 12mW/sm2以上
■薬液供給:2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液
■外形寸法:1470(H)×650(W)×750(D)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■型式:PEC-6
■エッチング方式
・Photo-Electro Chemical:光電気化学
■適応ワーク:□10mm小片チップ、φ2~6インチ
■UVA光源:超高圧水銀灯315~400nm 15mW/sm2以上
■UVC光源:プラズマ光源220~320nm 12mW/sm2以上
■薬液供給:2ノズルエア圧縮方式エッチング液、リンス液
■外形寸法:1470(H)×650(W)×750(D)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。