【仕様】
■型式:ImpFlex-Essential Stepper
■転写方式:UVナノインプリント
■適応ワーク:φ2~8インチ
■モールド:石英モールド、PDMSモールド
■レジスト塗布:スピンコータ又はインクジェットによる前処理
■アライメント精度:1μm(アライメントマークサイズによる)
■外形寸法:1800(H)×760(W)×1160(D)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■型式:ImpFlex-Essential Stepper
■転写方式:UVナノインプリント
■適応ワーク:φ2~8インチ
■モールド:石英モールド、PDMSモールド
■レジスト塗布:スピンコータ又はインクジェットによる前処理
■アライメント精度:1μm(アライメントマークサイズによる)
■外形寸法:1800(H)×760(W)×1160(D)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。