上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
軽量コンパクトながら高い再現性を持つデスクトップスパッタコーター
関連情報
マグネトロンスパッタコーター SC-701MC
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【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):225/420/320mm
全自動イオンコーター SC-701AT
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【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇寸法(W/D/H):225/420/320
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サンユー電子株式会社