イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター
【特徴】
○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用
○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献
○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート
○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます
【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):225/420/320mm
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):225/420/320mm
価格情報 | - |
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価格帯 | 100万円 ~ 500万円 |
納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | QUICK COOL COATER SC-701MC |
用途/実績例 |
【用途】 ○電極用スパッタ薄膜の作成用途 ○反射膜作製用途 〇SEM用試料の前処理 etc. |
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