サンユー電子株式会社

マグネトロンスパッタコーター SC-701MC

最終更新日: 2024-02-07 10:47:49.0

  • カタログ

イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター

軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター

【特徴】
○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用
○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献
○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート
○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます

【仕様】
〇ターゲットサイズ:φ49mm
〇適用可能ターゲット:Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag
〇試料サイズ:φ50mm(Max)
〇排気操作:自動
〇排気装置:直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付)
〇スパッタ方式:DCマグネトロン/平行平板型
〇寸法(W/D/H):225/420/320mm
価格情報 -
価格帯 100万円 ~ 500万円
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 QUICK COOL COATER SC-701MC
用途/実績例 【用途】
○電極用スパッタ薄膜の作成用途
○反射膜作製用途
〇SEM用試料の前処理 etc.

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