上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
プラズマ応用装置・電磁アクチュエーター等の開発、製造、販売などを行っている、株式会社エスクラフトの製品カタログです。
【掲載内容 ※詳しくはカタログをご覧ください。】
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。
6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。
コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。
WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。
6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。
コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイミド系樹脂のエッチングやフォトレジストの表面改質など多様な用途にご利用頂けます。
関連情報
プラズマ処理装置 WLP600S
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【仕様】
○処理方式：平行平板プラズマ励起方式（DP／RIE切替可）
○処理室：AL製（シングルチャンバー）
○RF電源：600Ｗ 13.56MHz オートチューニング
○処理ガス
→O2：1000SCCM
→CF4：500SCCM
→1系統増設可（オプション）
○パージガス：N2
○スループット：3000枚／400時間（ポリイミド膜1μｍエッチング時）
○処理ステップ：3ステップ、10レシピ
○ウエハーサイズ：6インチ、8インチ兼用
○ウエハー搬送方式
→垂直動作カセットエレベータ（6インチ、8インチ兼用）
→水平・旋回動作1フィンガー吸着方式クリーンロボット
○本体寸法：W600×D1500×H1850
○本体重量：650kg
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
豊富な実績！プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応！】
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■プラズマ関連事業■
プラズマ応用装置の開発、製造、販売
【プラズマ装置】
・自社製品(カタログ品）の販売
・お客様仕様カスタム製品の開発
【サポート業務】
・既存のアッシング装置の各種改造
・メンテナンス
・据付/立上のサポート業務
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