【用途例】
■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理
■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測
■金型の異物除去におけるエアー計測
■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測
■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理
■GMPに基づいた医薬品製造におけるプロセス管理
※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
■クリーンルームの天井から降下する層流や吸排気の管理
■ウェハー製造工程における洗浄・乾燥による異物除去でのエアー計測
■金型の異物除去におけるエアー計測
■クリーンルーム全体、または局所的なエアー計測
■フィルム製造工程における塗布・乾燥ラインでの風量・風向きの管理
■GMPに基づいた医薬品製造におけるプロセス管理
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