神港精機株式会社 東京支店

プラズマリフロー装置

最終更新日: 2019-07-04 14:26:31.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

関連情報

バッチタイププラズマリフロー装置(フラックスリフロー)
バッチタイププラズマリフロー装置(フラックスリフロー) 製品画像

φ300mmウェハ対応のバッチタイプ
表面波プラズマ(SWP)による高密度ダメージフリーラジカル処理
急速昇降温型ホットプレート装備
真空プロセスによるボイドレスバンプを実現
オプションでレジストアッシングに対応
サンプルテスト対応中

バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー)
バッチ式真空半田付装置(フラックスレスリフロー 真空リフロー) 製品画像

真空排気と還元雰囲気の組合せによりフラックスレスリフローを実現、半田・基板にあわせた好適な圧力プロファイルでボイドレスを実現。バッチ式のコンパクトな装置形態でガス・電力の省エネ化を実現。
立上・処理・メンテナンス含め短タクト処理を実現。
パワーモジュール半田付だけで無くウェハバンプリフロー、リペア、MEMSデバイス封止工程等各種接合工程に幅広い実績。
ナノ金属ペースト焼結接合工程にも実績と柔軟で積極的な試作対応

【展示会概要】<ネプコン・ジャパン 2020>
出展:第34回 ネプコン・ジャパンーエレクトロニクス 開発・実装展
日時:1月15日(水)~17(金)
会場:東京ビッグサイト
小間:南展示棟 S8-15

枚葉式プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)テスト受付中
枚葉式プラズマリフロー装置(フラックスレスリフロー)テスト受付中 製品画像

チャージアップダメージフリープロセス。
信頼性の高い安定した搬送機構
均一な温度分布による300mmウェハ面内のリフロー温度プロファイル
300mmウェハの本格量産ラインに対応。各種上位通信、SMIFポッド等規格対応。
テストから設計、納入、立上まで一貫したチームサポート

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