上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
リアミラーから大型外装品まで対応。大型バッチタイプスパッタリング装置。高効率ハイレートカソードと高速排気型2室切替処理で大量処理
装置形態
カルーセルタイプ
カソード:高効率矩形型マグネトロンカソード
対応基板:小型平板基板もしくはφ400×L1000mmまでの立体形状基板
カソード電源:DC
オプション機構
基板加熱機構、ボンバード機構、バイアススパッタ機構
樹脂基板用排気系、2室同時処理
カルーセルタイプ
カソード:高効率矩形型マグネトロンカソード
対応基板:小型平板基板もしくはφ400×L1000mmまでの立体形状基板
カソード電源:DC
オプション機構
基板加熱機構、ボンバード機構、バイアススパッタ機構
樹脂基板用排気系、2室同時処理
関連情報
大型蒸着装置(AAH型 自動車部品用)
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電子銃2~3台を使用。最大1800mmLの基板の成膜が可能。基板の自公転回転機構により基板の全面成膜を実現。大口径拡散ポンプ+ポリコールドチラーの高速排気で短タクトと高速水分除去。高品質な蒸着膜を形成。各種成膜プロセスも専用PCにてレシピ管理&データロギング。管理容易な全自動システム。
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神港精機株式会社 東京支店