上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
真空排気装置（真空ポンプユニット）
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信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴の真空ポンプユニット
大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作
メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広い用途に対応
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
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ALLステンレス製水封式真空ポンプとメカニカルブースタの組み合わせを基本とした真空ポンプユニット。
使用する圧力・排気量にあわせて最適な組み合わせが可能。
排気量を重視したメカニカルブースタの多段化や空気エゼクタなど柔軟な対応が特徴。
ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。
豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。
成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。
ドライポンプ（ドライ真空ポンプ） SSHシリーズ
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用途に応じてシールガス・パージガスなどのオプション品を用意しております。
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神港精機株式会社 東京支店
