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関連情報
真空排気装置(真空ポンプユニット)
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信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴の真空ポンプユニット
大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作
メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広い用途に対応
【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)
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下記仕様もございます。
●封液循環型 水封式真空ポンプ
有害ガスの流出を防ぐ無公害排気システムを備えた水封式真空ポンプ
●標準仕様 鉄製 水封式真空ポンプ
リーズナブルで実績の最も多いスタンダードタイプ。
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封液循環型 水封式真空ポンプ SW-S/AS-Cシリーズ
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下記仕様もございます。
●標準仕様 鉄製 水封式真空ポンプ
リーズナブルで実績の最も多いスタンダードタイプ。
●オールステンレス製 水封式真空ポンプ
腐食性ガスに対しても優れた耐食性を有した水封式真空ポンプ。
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水封式真空ポンプ SWシリーズ
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下記仕様もございます。
●封液循環方型 水封式真空ポンプ
有害ガスの流出を防ぐ無公害排気システムを備えた水封式真空ポンプ
●オールステンレス製 水封式真空ポンプ
腐食性ガスに対しても材質の変化が少なく、性能も安定し、かつ優れた耐食性を有した水封式真空ポンプで、耐用年数が長いのが特徴
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【化学業界向け】水封式真空ポンプ(ステンレス製)
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●排気速度25~300m3/hまでの幅広いラインナップがあります。
●メカニカルブースタと組み合わせることで、水封式真空ポンプ単体では到達できない中真空領域まで減圧することが可能となります。
●封液循環型の水封式真空ポンプもラインナップしており、廃液処理の削減が可能となり、環境対応に貢献します。
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
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ALLステンレス製水封式真空ポンプとメカニカルブースタの組み合わせを基本とした真空ポンプユニット。
使用する圧力・排気量にあわせて最適な組み合わせが可能。
排気量を重視したメカニカルブースタの多段化や空気エゼクタなど柔軟な対応が特徴。
ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。
豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。
成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ(SSHシリーズ)を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。
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神港精機株式会社 東京支店