神港精機株式会社 東京支店

真空排気装置カタログ

最終更新日: 2020-09-07 11:20:16.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

実績と信頼の真空ポンプユニット。化学・食品・冶金・電子材料製造プロセスに豊富な組み合わせより個別設計で好適化。
実績豊富な各真空ポンプ(ドライポンプ・水封式真空ポンプ・油回転真空ポンプ・メカニカルブースタ)を用途・目的に合わせてユニット化。オプション機構も追加装備し個別専用排気装置にシステムアップ。
ケミカルプロセス・冶金・乾燥・蒸留・脱ガス多くの用途に好適なシステムを提案

関連情報

メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ
メカニカルブースタ SMB-Cシリーズ 製品画像

下記仕様もございます。
●SMB-Dシリーズ
アルミ製で軽量・コンパクトな機種です。
●SMB-DMシリーズ
マグネットカップリングにより大気圧からの運転が可能です。
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油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ
油回転真空ポンプ SR/SRPシリーズ 製品画像

オプション品:オイルミストトラップにより運転中に出るオイルミストを低減できます。
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水封式真空ポンプ SWシリーズ
水封式真空ポンプ SWシリーズ 製品画像

下記仕様もございます。
●封液循環方型 水封式真空ポンプ
有害ガスの流出を防ぐ無公害排気システムを備えた水封式真空ポンプ
●オールステンレス製 水封式真空ポンプ
腐食性ガスに対しても材質の変化が少なく、性能も安定し、かつ優れた耐食性を有した水封式真空ポンプで、耐用年数が長いのが特徴
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ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SST/SSXシリーズ 製品画像

ドレンタンク・ヒーターセットなどの多彩なアクセサリーや、特殊メッキ・Oリングなどの材質変更も対応しています。
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ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ
ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) SSHシリーズ 製品画像

用途に応じてシールガス・パージガスなどのオプション品を用意しております。
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油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』
油拡散ポンプ『SD、SDBシリーズ』 製品画像

【ラインアップ(抜粋)】
■標準形油拡散ポンプ
・SD-10
・SD-14
・SD-16
・SD-22

■サイドエゼクタ形油拡散ポンプ
・SD-4H
・SD-6H
・SD-8H

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

真空排気装置(真空ポンプユニット)
真空排気装置(真空ポンプユニット) 製品画像

信頼性と目的にあわせた個別設計が特徴の真空ポンプユニット
大容量と堅牢性が特徴の油回転ポンプ・水封式真空ポンプ・ドライ真空ポンプ・メカニカルブースタを組合せ専用排気装置を個別設計・製作
メカニカルブースタ多段化・封液循環ユニット・ダストフィルタ・圧力制御機構など豊富なオプションで幅広い用途に対応

【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製)
【耐食性】水封式真空ポンプ SW-ASシリーズ(ステンレス製) 製品画像

下記仕様もございます。
●封液循環型 水封式真空ポンプ
有害ガスの流出を防ぐ無公害排気システムを備えた水封式真空ポンプ
●標準仕様 鉄製 水封式真空ポンプ
リーズナブルで実績の最も多いスタンダードタイプ。
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【真空焼結炉向け】ドライポンプ(ドライ真空ポンプ)
【真空焼結炉向け】ドライポンプ(ドライ真空ポンプ) 製品画像

SST/SSXシリーズにオプション品のクリーニングセット、シールパージガスセットを付属することで真空焼結炉に適したカスタマイズとなります。
バインダーの量や運用方法次第ではオプション品のヒータセットや追加ドレンタンクを設けることも可能です。
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【化学業界向け】水封式真空ポンプ(ステンレス製)
【化学業界向け】水封式真空ポンプ(ステンレス製) 製品画像

●排気速度25~300m3/hまでの幅広いラインナップがあります。
●メカニカルブースタと組み合わせることで、水封式真空ポンプ単体では到達できない中真空領域まで減圧することが可能となります。
●封液循環型の水封式真空ポンプもラインナップしており、廃液処理の削減が可能となり、環境対応に貢献します。
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CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット)
CVD装置用真空排気装置(塩素系ガス対応真空ポンプユニット) 製品画像

ALLステンレス製水封式真空ポンプとメカニカルブースタの組み合わせを基本とした真空ポンプユニット。
使用する圧力・排気量にあわせて最適な組み合わせが可能。
排気量を重視したメカニカルブースタの多段化や空気エゼクタなど柔軟な対応が特徴。
ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。
豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。
成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ(SSHシリーズ)を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。

【化学業界向け】ドライ真空ポンプ
【化学業界向け】ドライ真空ポンプ 製品画像

SST/SSXシリーズに、オプションのクリーニングセット、シールパージセットを付属し、ケミカルプロセスに適したカスタマイズとなります。
吸引物の量・性質や運用方法に応じてオプション品のヒータセットや追加ドレンタンクを設けることも可能です。

◆◇◆詳しくはお問い合わせください◆◇◆

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