上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
乾燥から焼成・ベーキング・アニールまで。大容量・多機能・多用途対応 幅広い実績の新型熱処理装置
高真空・減圧雰囲気・大気圧不活性雰囲気中。各モードで使用できる多目的熱処理装置。
オプションで治具や棚板も専用設計、各種ガス導入にも対応
基板・目的・ライン構成に合わせて柔軟にハード対応。
オプションで治具や棚板も専用設計、各種ガス導入にも対応
基板・目的・ライン構成に合わせて柔軟にハード対応。
関連情報
大型真空オーブン
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６００ｍｍ□×６００ｍｍＨ／バッチの大量バッチ処理
炉内全面ヒーターの均一加熱
ドライポンプ＋ターボ分子ポンプの完全ドライ排気系
高真空・低真空・大気圧の各圧力下での加熱処理対応
基板と目的に合わせて排気系・ガス系・処理温度・炉内構造・治具選択可能
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神港精機株式会社 東京支店
