神港精機株式会社 東京支店

巻取式プラズマ処理装置

最終更新日: 2020-05-08 11:31:04.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

巻取式(RtoR)で連続プラズマ処理。表面洗浄&活性化、先端フレキシブルデバイスの量産に実績豊富な新ドライプロセス。
各種フィルムや金属箔の連続表面処理(クリーニング・親水化・活性化・酸化)に対応した最新型プラズマ処理装置
マルチモードプラズマ(RF.DCグロー放電)より最適なプロセス条件が選択可能
SDR型巻取式スパッタリング装置と基本構成を共通化し、信頼性と互換性を向上させたプラズマ処理専用装置
オプションにて加熱機構も装備でき表面処理と真空乾燥・脱ガスの複合処理装置にグレードアップ可能

関連情報

SDR型巻取式スパッタリング装置(RtoRタイプスパッタ装置)
SDR型巻取式スパッタリング装置(RtoRタイプスパッタ装置) 製品画像

装置形態:巻取式マグネトロンスパッタリング装置
基板寸法:最大幅1000mmまで対応
カソード数:最大4元
膜種:金属・磁性膜・反応性酸化膜
オプション機構:
プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等

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