上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
関連情報
ピラニ・電離真空計・真空弁・真空部品
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【真空弁ラインアップ】
■SNV-L型空圧式真空弁（L形）
■SV-L型手動式真空弁（L形）
■SNV-S型空圧式真空弁（ストレート形）
■SV-S型手動式真空弁（ストレート形）
【真空部品】
■SBF型ベローズフランジ
■真空スイッチ
■インレットダストフィルター
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
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ALLステンレス製水封式真空ポンプとメカニカルブースタの組み合わせを基本とした真空ポンプユニット。
使用する圧力・排気量にあわせて最適な組み合わせが可能。
排気量を重視したメカニカルブースタの多段化や空気エゼクタなど柔軟な対応が特徴。
ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。
豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。
成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。
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神港精機株式会社 東京支店
