上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
高い赤外線透過率をもつDLCを安定して成膜可能
平板型基板の両面コーティングにも標準対応。
金属表面処理用途で実績豊富な基本構成のハードで信頼性&生産性UP
硬質膜から光学膜まで多用途対応のDLCコーティング装置
関連情報
赤外線反射防止膜用DLCコーティング装置
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独自開発高密度プラズマ源(PIGプラズマ源)を装備
自公転機構によるハイレート全面成膜機構
各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア
DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)
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250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。
従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。
プラズマエッチングで蓄積されたマルチガスプロセスで多様なDLC膜の除去に対応するとともに微細加工モールドの作成にも実績。DLCだけでなく有機膜エッチングや石英の微細エッチングにも対応可能なプラズマクリーニング装置
硬質膜用スパッタリング装置STL5521型(精密レンズ金型用)
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最大5元kソードを装備し、5元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。
650℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。
高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。
幅広い材質・形状に最適な膜種・処理温度・プロセスを実現できる硬質膜用専用ロードロックタイプスパッタリング装置
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神港精機株式会社 東京支店