上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
多様な雰囲気（真空・不活性・還元）中で急速昇降温加熱処理。脱ガス・アニール還元熱処理。コンパクトな多用途対応熱処理装置
３００ｍｍ□の急速昇降温型ホットプレートと真空排気系およびＮ２，Ｈ２ガス導入機構を装備。
多様な基板の急速熱処理に対応。
薄膜のアニールや成膜前の基板の脱ガスなどの微細加工関連。
表面の還元や焼成などの材料分野のＲ＆Ｄから量産用途
真空・急速昇降温処理の汎用熱処理機能と還元雰囲気処理によるニッチプロセス対応を両立したコンパクトタイプ多用途対応熱処理装置
多様な基板の急速熱処理に対応。
薄膜のアニールや成膜前の基板の脱ガスなどの微細加工関連。
表面の還元や焼成などの材料分野のＲ＆Ｄから量産用途
真空・急速昇降温処理の汎用熱処理機能と還元雰囲気処理によるニッチプロセス対応を両立したコンパクトタイプ多用途対応熱処理装置
関連情報
真空熱処理装置（ホットプレートタイプ）
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急速加熱用熱板で３００ｍｍ□の基板の処理に対応。基板冷却機構により短時間・短タクト処理を実現。
長時間の加熱によるダメージが問題となる基板に安定した加熱プロセスを提供。
標準バッチタイプの評価を基にインラインタイプへのシステムアップが容易
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神港精機株式会社 東京支店
