上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ケミカルプロセスに実績豊富な真空ポンプユニットをＣＶＤ用途にカスタマイズ。塩素系ガスの排気にも対応。信頼と実績の真空排気装置
高耐食性のオールステンレス製水封式真空ポンプと堅牢なメカニカルブースタの組み合わせの真空ポンプユニット。
水封式真空ポンプを封液循環タイプとし、封液にアルカリ溶液を使用する事によって吸引する酸性ガスを中和、後段のガス処理設備の負担を大きく軽減。
減圧ＣＶＤ装置の成膜用排気系として多くの実績を持ち、豊富なオプション類の追加装備によってより多くの幅広い要求に対応いたします。
水封式真空ポンプを封液循環タイプとし、封液にアルカリ溶液を使用する事によって吸引する酸性ガスを中和、後段のガス処理設備の負担を大きく軽減。
減圧ＣＶＤ装置の成膜用排気系として多くの実績を持ち、豊富なオプション類の追加装備によってより多くの幅広い要求に対応いたします。
関連情報
ＣＶＤ装置用真空排気装置（塩素系ガス対応真空ポンプユニット）
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ALLステンレス製水封式真空ポンプとメカニカルブースタの組み合わせを基本とした真空ポンプユニット。
使用する圧力・排気量にあわせて最適な組み合わせが可能。
排気量を重視したメカニカルブースタの多段化や空気エゼクタなど柔軟な対応が特徴。
ポンプの特性と材質によってパーティクルや塩素系ガスの排気に実績豊富なシステム。
豊富なポンプの組み合わせによって幅広い要求に対応。
成膜前の粗引排気にラフプロセス用ドライ真空ポンプ（SSHシリーズ）を使用する事でさらに信頼性の高いシステムにグレードアップ。圧力調整機構を含めた排気システムとして提案可能。
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神港精機株式会社 東京支店
