上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
R＆Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー
R＆Dニーズから量産レベルまで、スパッタリングの幅広い用途をフルカバー
【ラインナップ】
●小型スパッタリング装置
●サイドスパッタリング装置
●ロードロック式スパッタリング装置
●マルチチャンバースパッタリング装置
●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置
●巻取式スパッタリング装置
【主な特長】
●金属、合金、絶縁膜など広範囲な材質での薄膜製作が可能です。
●反応生成膜の作成も出来ます。
●膜厚制御が容易で、安定した薄膜形成をお約束します。
●基板の表面がグロー放電プラズマによりクリーニングされます。
●10nm以下の薄膜、多層膜が作成できます。
●基板への優れた密着性を実現しました。
【ラインナップ】
●小型スパッタリング装置
●サイドスパッタリング装置
●ロードロック式スパッタリング装置
●マルチチャンバースパッタリング装置
●超高真空対応枚葉式スパッタリング装置
●巻取式スパッタリング装置
【主な特長】
●金属、合金、絶縁膜など広範囲な材質での薄膜製作が可能です。
●反応生成膜の作成も出来ます。
●膜厚制御が容易で、安定した薄膜形成をお約束します。
●基板の表面がグロー放電プラズマによりクリーニングされます。
●10nm以下の薄膜、多層膜が作成できます。
●基板への優れた密着性を実現しました。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
神港精機株式会社 東京支店
